IWH Serie 1 mit 2-Link-Kompaktarm und Serie 1-Grundkörper 7″

Durch das Baukastensystem sind verschiedene Grundkörper von 7" - 21" Z-Hub, mit vielen verschiedenen Armbaugruppen von 10,5" bis 28" kombinierbar. Für Handhabungsgewichte von bis zu 1 KG möglich. Wafer-Handler der Serie 1 sind für das Waferhandling konzipiert. Durch das Baukastensystem sind verschiedene Grundkörper von 7" - 21" Z-Hub, mit vielen verschiedenen Armbaugruppen von 10,5" bis 28" kombinierbar. Abhängig von der Kombination der Achsen sind so Handhabungsgewichte bis 1 kg möglich. Merkmale wafer-Handling bis zu 200 mm ausgezeichnete bauliche Steifigkeit und Präzision höchste Ausfallsicherheit optional oben montiert (TA) oder unten montiert (BA) kundenspezifische Anpassungen möglich inkrementelle Encoder einfache Anbindung von Prealigner, Linear Track und anderen Peripherien an die Robotersteuerung inklusive Standard Controller & Software ISO 1-reinraumkompatibel MTBF: >70.000 Betriebsstunden made in Germany Gewicht: ca. 19 kg Wiederholungsgenauigkeit: T: +/- 0,02 ° R: +/- 0,02 mm Z: +/- 0,02 mm Nutzlast: bis zu 1 kg Max. Geschwindigkeit: T: 360°/s R: 1.000 mm/s Z: 450 mm/s Netzanschluss: 110 / 230 V AC Schnittstelle: RS-232 [DB9] Ethernet [RJ-45]